目前超聲波清洗機(jī)的工作頻率根據(jù)清洗對象.大致分為三個頻段:低頻超聲清洗(20- 50KHz).高頻超聲清洗(50~ 200KHz)和兆赫超聲清洗(700KHz~1MHz以上)。低頻超聲清洗適用于大部件表面或者污物和清洗件表面結(jié)合強(qiáng)度高的場合。頻率的低端，空化強(qiáng)度高,易腐蝕清洗件表面，不適宜清洗表面光潔度高的部件，而且空化噪聲大。40KHz左右的頻率，在相同聲強(qiáng)下，產(chǎn)生的空化泡數(shù)量比頻率為20KHz時多.穿透力較強(qiáng)，宜清洗表面形狀復(fù)雜或有盲孔的工件，空化噪聲較小。但空化強(qiáng)度較低，適合清洗污物與被清洗件表面結(jié)合力較弱的場合.高頻超聲清洗適用于計算機(jī).微電子元件的精細(xì)清洗.如磁盤、驅(qū)動器、讀寫頭、液晶玻璃及平面顯示器.微組件和拋光金屬件等的清洗。這些清洗對象要求在清洗過程中不能受到空化腐蝕.要能洗掉微米級的污物。兆赫超聲清洗適用于集成電路芯片、硅片及簿膜等的清洗。能去除微米.亞微米級的污物而對清洗件沒有任何損傷.因為此時不產(chǎn)生空化，其清洗機(jī)理主要是聲壓梯度、粒子速度和聲流的作用。特點是清洗方向性強(qiáng)，被清洗件一般置于與聲束平行的方向.